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平坦衬底边缘与开放体积接触的平衡途径和侧封

摘要

本发明提供了平坦衬底边缘与开放体积接触的平衡途径和侧封,具体提供了用于衬底处理系统的基座,其包括具有面向衬底的表面的基座主体。环形带布置在面向衬底的表面上,该表面构造成支撑衬底的径向外边缘。腔被限定在基座主体的面向衬底的表面中并且位于环形带的径向内侧。腔在衬底的底表面和基座主体的面向衬底的表面之间产生体积。多个排气孔通过基座主体并且与腔流体连通,以在处理期间使衬底的相对面上的压力平衡。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20171027

    实质审查的生效

  • 2018-05-29

    公开

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