法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-12
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/26 申请日:20180119
实质审查的生效
2018-05-18
公开
公开
机译: 用于薄膜太阳能电池的黄铜矿吸收层大面积沉积的反应磁控溅射
机译: 产生热障包括在超合金基体上沉积铂金属层,并通过包括等离子体喷雾雾化法的等离子体热喷涂在铂金属层上沉积热障层。
机译: 双磁控溅射装置用于大面积反应等离子体增强沉积,例如用于太阳能吸收器的金属条上的光吸收层或窗户玻璃上的热反射层