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用于测量被测物在参考物上的平面位置的方法

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本发明涉及一种用于测量被测物在参考物上的平面位置的方法，包括：使被测物与参考物相对平移，其中参考物配备有二维周期图案，并且被测物配备有用于拍摄二维周期图案的图像信号的读头；由读头拍摄二维周期图案的图像信号；对图像信号进行离散傅里叶变换以获得频谱；分别确定频谱在X轴和Y轴方向上的基频点P

著录项

公开/公告号CN107977994A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-01

原文格式PDF
申请/专利权人上海交通大学;
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申请/专利号CN201610921419.X
发明设计人陈宗豪;黄佩森;
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申请日2016-10-21
分类号
代理机构上海专尚知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张政权
地址 200240 上海市闵行区东川路800号
入库时间 2023-06-19 05:12:00

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-11-08

实质审查的生效 IPC(主分类):G06T7/70 申请日:20161021

实质审查的生效
2018-05-01

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