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一种模拟内部版图图形的边缘冗余图形生成方法

摘要

本发明公开了一种模拟内部版图图形的边缘冗余图形生成方法,采用获取原始版图和关键版图的尺寸;获取关键版图的特征图形,将关键版图转换为二维坐标系数组,对二维坐标系数组进行修改,保留必要特征图形的对应的数据,剔除剩余数据;二维坐标系数组转换为冗余图形,与预定指标比对修改后,在填充区域内填充冗余图形。采用本发明的技术方案,得到的冗余图形与关键版图非常近似,通过对上述的冗余图形在原始版图中的填充,使得冗余图像可以更好的保护关键版图地器件。

著录项

  • 公开/公告号CN107958112A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-04-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;

    申请/专利号CN201711183763.4

  • 发明设计人 张美丽;于世瑞;

    申请日2017-11-23

  • 分类号G06F17/50(20060101);

  • 代理机构31272 上海申新律师事务所;

  • 代理人俞涤炯

  • 地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

  • 入库时间 2023-06-19 05:07:54

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-05-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):G06F17/50 申请日:20171123

    实质审查的生效

  • 2018-04-24

    公开

    公开

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