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公开/公告号CN107924813A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-04-17
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201680047304.0
发明设计人 G·K·翁;J·约德伏斯基;K·格里芬;K·贝拉;O·奥兹刚;
申请日2016-08-16
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人金红莲
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 05:03:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20160816
实质审查的生效
2018-04-17
公开
机译: 用于空间原子层沉积的加热源
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