掺氧混合气体放电等离子体氧化处理钙钛矿太阳电池空穴传输层的方法

摘要

掺氧混合气体放电等离子体氧化处理钙钛矿太阳电池空穴传输层的方法，涉及太阳电池技术领域。整个处理过程包括下列步骤：(1)制备多层结构的钙钛矿太阳电池；(2)通入掺氧混合气体，用等离子体发生装置产生稳定均匀的低温等离子体，并调整放电参量；将钙钛矿太阳电池置于气体放电等离子体区域内，利用氧等离子体中活性基团与空穴传输层发生反应来迅速完成空穴传输层的功能化。该方法具有以下优点：反应过程快速、高效，并精确可控，可在几秒、十几秒内完成空穴传输层的功能化，获得较好的器件性能。与传统的在特定气体氛围内静置的方法相比，该方法工艺简单、控制性好、规模灵活，非常适宜应用在将来的工业化生产中。