用于GDMS检测的超高纯铝样品的制备方法及超高纯铝样品杂质分析方法

摘要

本发明公开了一种用于GDMS检测的超高纯铝样品的制备方法及超高纯铝样品杂质分析方法，涉及高纯金属成分分析技术领域。超高纯铝样品的制备方法包括以下步骤：对待测超高纯铝样品进行超声酸洗，酸洗液主要由硝酸、氢氟酸和水混合而成，硝酸、氢氟酸和水的体积比为1:(2～5):(5～8)。本发明缓解了现有方法不适用于超高纯铝样品，Na和Si在制样过程中易引入，造成检测偏高或元素检测值稳定时间长的问题。采用本发明制样方法能有效缓解超高纯铝样品中Na和Si含量易引入的问题，同时能有效去除杂质，有效抑制表面形成氧化层，有效缩短GDMS检测时间，并确保了检测的准确性、稳定性和重复性。