首页> 中国专利> 条纹投影方法、条纹投影装置和计算机程序产品

条纹投影方法、条纹投影装置和计算机程序产品

摘要

一种用于确定主体(12)的形貌的条纹投影方法,包括以下步骤:将一系列成组图案(Ti)投影到主体(12)的表面(20)上,其中每个组均具有至少两个图案(Ti),并且其中每个图案(Ti)均具有S个条纹;对于每个图案(Ti),记录具有所投影的图案的表面(20)的图像(24.i),从而形成一系列的记录;以及从所述图像(24.i)计算形貌,其中投影这种图案,其中每个条纹均具有垂直于条纹纵向方向(L)的强度分布,并且每个强度分布均可以由具有空间相位(β)的函数(Q)表达。根据本发明,相位(β)根据条纹的序数(s)的代码(g(s))而变化。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-04-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/25 申请日:20160530

    实质审查的生效

  • 2018-03-16

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号