位相変調型デュアルファイバープローブによるフリンジプロジェクション法

摘要

近年、工業製品の物体形状や状態を高速、非接触かつ安価に計測できる技術が必要となっている。非接触で精密な工業製品の表面形状検査装置として光干渉技術が多く用いられている。しかし、生産ラインでの「その場」測定を想定した場合、光干渉計や干渉顕微鏡などによる計測では外乱による影響が大きく高速でロバストな計測が困難である。一方で、縞画像投影（または、フリンジプロジェクション）法や格子画像投影法は、より簡便な構成で物体の表面形状を全視野計測できる。しかし、これらの投影法の測定範囲は数10 mm から数m までの物体に限られ、マイクロメートル領域の微小物体の計測には向いていない。そこで、我々はデュアルファイバープローブを用いたレーザ光の干渉フリンジパターン投影により、微小な物体の表面形状を計測できる手法を提案する。