气敏元件制作方法及半导体气敏元件的测试方法

摘要

本分案申请公开了一种气敏元件制作方法及半导体气敏元件的测试方法，属于元件测试领域，用于解决现有甲醛气敏元件的测试方法不完善的问题，且湿度控制精度低的问题，技术要点是：气敏元件制作步骤：将两端涂有金属电极的陶瓷管衬底依次用甲苯、酒精和去离子水超声清洗，在红外灯下烘干后将研磨好的浆料涂在陶瓷管表面，在红外灯下烘干，然后在管式电阻炉中烧结，最后将具有合适电阻值的加热丝穿入烧好的管芯中，并将电极引线和加热丝引线焊接在元件的管座上，制作成气敏元件，使用气敏元件制作气体气体传感器，本发明使得对于甲醛气敏元件的测试更为完善，且提高了湿度的可控性与控制精度。