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公开/公告号CN107808819A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-03-16
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
申请/专利号CN201710887677.5
发明设计人 孙晓娟;黎大兵;贾玉萍;刘贺男;宋航;李志明;陈一仁;缪国庆;蒋红;张志伟;
申请日2017-09-27
分类号H01L21/02(20060101);H01L21/3205(20060101);
代理机构22210 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙);
代理人南小平
地址 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
入库时间 2023-06-19 04:48:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20170927
实质审查的生效
2018-03-16
公开
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