以TiO2纳米管阵列为载体的SiO2:RE发光薄膜及其制备方法

摘要

本发明属于光电子信息材料领域，具体涉及一种以TiO₂纳米管阵列为载体的SiO₂:RE发光薄膜及其制备方法。该发光薄膜的基底为TiO₂纳米管阵列薄膜。该发光薄膜较传统的以硅片或普通载玻片等光学平面为载体的SiO₂:RE发光薄膜的发光性能有很大程度的改善。所公开的一种以TiO₂纳米管阵列为载体的SiO₂:RE发光薄膜的其制备方法主要为TiO₂纳米管阵列薄膜的制备和发光薄膜的制备，其中TiO₂纳米管阵列薄膜的制备采用阳极氧化法，所得TiO₂纳米管阵列薄膜线管状结构较好，为整体发光薄膜提供一个有利于改善其发光性能的基底；发光薄膜的制备主要为SiO₂:RE溶胶的制备和以TiO₂纳米管阵列为载体的发光薄膜的制备。整个制备方法工艺条件温和、使用设备简单。