公开/公告号CN107677901A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-02-09
原文格式PDF
申请/专利权人 国网上海市电力公司;上海慕荣电气有限公司;
申请/专利号CN201710748239.0
申请日2017-08-28
分类号
代理机构上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘立平
地址 200002 上海市黄浦区南京东路181号
入库时间 2023-06-19 04:30:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-09
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/00 申请日:20170828
实质审查的生效
2018-02-09
公开
公开
机译: 电能质量评估系统,电能质量评估方法和电能质量评估程序
机译: 晶片平坦度评估方法,执行该评估方法的晶片平坦度评估装置,使用该评估方法的晶片制造方法,使用该评估方法的晶片质量保证方法,使用该评估方法的半导体器件制造方法以及使用通过评估的晶片的半导体器件制造方法评估方法
机译: 晶片平坦度评估方法及实施该评估方法的装置;使用评估方法的晶圆生产方法,使用评估方法的晶圆质量保证方法,使用评估方法的半导体器件生产方法以及使用评估方法评估的晶圆的半导体器件生产方法