基于MEMS的流速传感器、流速测量电路及方法

摘要

一种基于MEMS的流速传感器、流速测量电路及流速测量方法，所述流速传感器包括芯片基底层、第一保护层、第二保护层、测流元件和感温元件，其中：所述芯片基底层、第二保护层和第一保护层依次堆叠，所述测流元件和所述感温元件均设置于所述第一保护层或第二保护层中，所述测流元件包括电阻值与温度成正相关关系的第一热电阻。本发明提供的流速传感器可以应用于小微流量的流体流速测量，且具有精度高、成本低的有益效果。