公开/公告号CN107636510A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-26
原文格式PDF
申请/专利权人 卡尔蔡司SMT有限责任公司;
申请/专利号CN201680029149.X
申请日2016-05-10
分类号G02B13/14(20060101);G02B27/00(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人邱军;王蕊瑞
地址 德国上科亨
入库时间 2023-06-19 04:23:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B13/14 申请日:20160510
实质审查的生效
2018-01-26
公开
公开
机译: 具有波前测量装置和光学波前操纵器的投射曝光设备
机译: 具有至少一个操纵器的投射曝光设备和用于控制投射曝光设备的方法
机译: 具有光学校正装置的用于半导体光刻的投射曝光设备和用于操作投射曝光设备的方法