一种用于清洁干蚀刻机台下电极表面的清洁装置

摘要

本发明提供一种用于清洁干蚀刻机台下电极表面的清洁装置,包括手持杆和吸附主体,所述手持杆的一端与吸附主体固定连接,所述手持杆呈设置有多条相互独立的气流通道,所述吸附主体内部设有与所述气流通道相连通的管道，所述吸附主体还开设有若干通孔，所述若干通孔通过管道与手持杆中的气流通道连接。本发明的清洁装置在清洁干蚀刻机台下表面时清洁更干净，提高作业效率，干蚀刻装备在进行干蚀刻制程时产生的颗粒物的吸收清洁具有非常好的效果。