用于电容式湿度传感器的复合湿敏材料及传感器制备方法

摘要

本发明提供一种用于电容式湿度传感器的复合湿敏材料及传感器制备方法，复合湿敏材料，配方如下：氧化钛或钛酸钡与钛酸锶钡按照1:1‑1:3质量比混合，称为初始功能陶瓷材料，聚酰胺或聚四氟乙烯与所述的初始功能陶瓷材料按照0.3wt％‑0.5wt％的质量比混合，称为混合物，惰性金属与所述的混合物按照15wt％‑25wt％的质量比混合。将该复合湿敏材料采用气溶胶沉积工艺制成复合湿敏膜，将该膜通过半导体加工工艺制成电容式湿度传感器。本发明的传感器具有高精密度、高稳定性、耐热、防污染、高可靠性。