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一种一键式3D轮廓测量设备及其测量计算方法

摘要

本发明公开了一种一键式3D轮廓测量设备,包括伺服驱动器、光谱共焦位移传感器、机架、运动平台、光谱共焦测高机构以及防护外罩,运动平台包括下平台、第一丝杆运动机构和第二丝杆运动机构、与第一丝杆机构配合的中平台以及与第二丝杆机构配合的上平台,光谱共焦测高机构包括固定架、CCD相机、设于固定架上端的大视场光学镜头、设于大视场光学镜头下方一侧的光谱共焦镜头,下平台下方设有照明光源,上平台上设有玻璃板。本发明还公开了该一键式3D轮廓测量设备的测量计算方法。本发明可以同轴共焦非接触式一键测量3D轮廓,具有更高分辨率、更高精度、更快速、检测范围更广等优点。

著录项

  • 公开/公告号CN107607059A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-01-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201710935135.0

  • 发明设计人 郑长文;

    申请日2017-10-10

  • 分类号

  • 代理机构广东莞信律师事务所;

  • 代理人冯蓉

  • 地址 523000 广东省东莞市东城街道主山上三杞工业大道立洲科技园3号楼503

  • 入库时间 2023-06-19 04:20:33

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-02-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/24 申请日:20171010

    实质审查的生效

  • 2018-01-19

    公开

    公开

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