首页> 中国专利> 用于清洗机的摇摆驱动机构的清洗机构及清洗机

用于清洗机的摇摆驱动机构的清洗机构及清洗机

摘要

本发明提供了一种用于清洗机的摇摆驱动机构的清洗机构,包括设于摇摆驱动机构的腔室上的喷嘴、与喷嘴连接的进水端、设于摇摆驱动机构下端的排水口,所述喷嘴与摇摆驱动机构相对设置,所述进水端设于腔室外。本发明还提供了一种清洗机,包括所述的用于清洗机的摇摆驱动机构的清洗机构。与现有技术相比,通过在摇摆驱动机构中设置清洗机构,通过喷嘴对凸轮盘进行清洗,从而能够及时的将附着在凸轮盘上的结晶物清理掉,防止对凸轮盘等部件的侵蚀,延长使用寿命;采用自动清洗,从而节省清洗成本;而且也能够避免结晶再次附着在基板上,提供产品的良率。

著录项

  • 公开/公告号CN107583902A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-01-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 武汉华星光电技术有限公司;

    申请/专利号CN201710743851.9

  • 发明设计人 尹洪祥;

    申请日2017-08-25

  • 分类号B08B3/02(20060101);B08B9/08(20060101);B08B9/093(20060101);

  • 代理机构44304 深圳市铭粤知识产权代理有限公司;

  • 代理人孙伟峰;顾楠楠

  • 地址 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋

  • 入库时间 2023-06-19 04:19:09

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-02-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):B08B3/02 申请日:20170825

    实质审查的生效

  • 2018-01-16

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号