用于颗粒和金属性能增强的ESC陶瓷侧壁修饰

摘要

本发明涉及用于颗粒和金属性能增强的ESC陶瓷侧壁修饰。一种用于衬底处理系统的衬底支撑件包括基板和布置在基板上的陶瓷层。陶瓷层包括下表面、配置为支撑衬底的上表面、和围绕从下表面延伸到上表面的陶瓷层的周边的侧壁，并且陶瓷层包括第一材料。在基板和陶瓷层之间提供接合层。在陶瓷层的侧壁上形成保护层。保护层之后包括与第一材料不同的第二材料。