微型多阵列加热器和微型多阵列传感器

摘要

提供了一种微型多阵列加热器和设置有微型多阵列加热器的微型多阵列传感器。微型多阵列加热器包括：衬底以及形成在衬底上的加热器电极。加热器电极包括具有第一热生成图案的第一加热器电极和具有第二热生成图案的第二加热器电极。第一热生成图案和第二热生成图案形成为具有不同的热生成量。