一种测量下限较低的碳纳米管阴极电离规

摘要

本发明公开了一种测量下限较低的碳纳米管阴极电离规。本发明通过采用阳极栅网顶部端面直接提取电子的方法，增大了发射电子的有效利用率，将碳纳米管阴极电离规的测量下限延伸至10‑9Pa的极高真空范围。本发明包括笼状阳极栅网、离子收集极、电级基座以及固定在电级基座上的碳纳米管阴极，所述碳纳米管阴极与笼状阳极栅网的顶部端面相对，电级基座通过设置在基座两端的云母片固定在阳极栅网顶部端面的上方；阳极栅网的顶部端面为网状结构，利用网状结构的阳极栅网的顶部端面直接提取电子。