一种阵列式大面积冷等离子体发生器

摘要

本发明涉及一种阵列式大面积冷等离子体发生器，其包括：内电极同轴结构，所述内电极同轴结构包括一内电极、完全包裹所述内电极下端头及外部的绝缘毛细管以及同轴套设于所述内电极外且与其下端齐平的绝缘管；包裹于所述绝缘管外、高度小于所述绝缘管高度的外电极；分别套设于所述绝缘管上端开口和下端开口的用于固定所述绝缘管轴向位置的上阀盖和下阀盖；位于所述上阀盖上部且套设于所述内电极和绝缘毛细管外的导气管；套设于上述各元件外、起盛装保护作用的管套；以及设置在所述管套上端、允许所述内电极和绝缘毛细管伸出的上盖。本发明可以广泛应用于冷等离子发生器的制造领域。