法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-21
专利权的视为放弃 IPC(主分类):G01D5/353 放弃生效日:20200721 申请日:20170927
专利权的视为放弃
2018-01-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01D5/353 申请日:20170927
实质审查的生效
2017-12-19
公开
公开
机译: 马赫曾德尔干涉仪,阵列波导光栅的制造方法以及马赫曾德尔干涉仪
机译: 传输线驱动的缝隙波导马赫-曾德尔干涉仪
机译: 非对称马赫曾德尔干涉仪(MZI)与非对称马赫曾德尔干涉仪零阵列导波相连