法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-29
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B23H3/00 申请公布日:20171215 申请日:20170821
发明专利申请公布后的驳回
2018-01-09
实质审查的生效 IPC(主分类):B23H3/00 申请日:20170821
实质审查的生效
2017-12-15
公开
公开
机译: 一种用于工件表面处理的方法(一种由金属制成的螺旋形导向装置以及一种用于处理金属工件的装置,可以起到保暖作用(见图5)。
机译: 一种半导体装置的制造方法,能够防止线摆动产生到金属布线的沟槽中
机译: 一种用于选择性地暴露沟槽的侧壁的方法及其用于产生衬底接触的方法是由金属硅化物与介电材料格拉本绝缘的装置制成。