基于莫尔条纹检测的离心式三轴角速率传感器

摘要

一种基于莫尔条纹检测的离心式三轴角速率传感器，主要结构包括上基板、定光栅层、敏感机构、下基板，上基板设置有四个光电探测阵列，敏感机构包括支撑框体、检测梁、连接梁、质量块、动光栅，定光栅层设置有四个定光栅，下基板设置有四个激光光源，质量块上设置动光栅，此装置结构无需驱动电路，采用离心力驱动质量块产生微位移，采用光学莫尔条纹检测微位移，结构合理紧凑，检测方便，检测精度高，灵敏度高，分辨率高，无正交误差、偏移输出等问题，测量精度较现有技术可提高一个数量级别，检测数据翔实、准确，可靠性好。