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公开/公告号CN107408519A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-11-28
原文格式PDF
申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201680014060.6
发明设计人 S·I·潘戴夫;
申请日2016-03-23
分类号H01L21/66(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人张世俊
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 03:54:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20160323
实质审查的生效
2017-11-28
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