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基于模型的单个参数测量

摘要

本文中提出用于建置并使用参数隔离模型以使与所关注参数相关联的测量信号信息和与偶发模型参数相关联的测量信号信息隔离的方法及系统。通过以下步骤训练所述参数隔离模型:将与度量目标的例子的第一集合相关联的测量信号映射到与所述度量目标的例子的第二集合相关联的测量信号,所述第一集合具有多个偶发模型参数的已知值及所关注参数的已知值,所述第二集合具有所述多个偶发模型参数的标称值及所述所关注参数的所述已知值。所述经训练参数隔离模型接收原始测量信号且隔离与特定所关注参数相关联的测量信号信息以进行基于模型的参数估计。减少测量模型的浮动参数的数目,从而导致明显减少计算工作量。

著录项

  • 公开/公告号CN107408519A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-11-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 科磊股份有限公司;

    申请/专利号CN201680014060.6

  • 发明设计人 S·I·潘戴夫;

    申请日2016-03-23

  • 分类号H01L21/66(20060101);

  • 代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人张世俊

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2023-06-19 03:54:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-04-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20160323

    实质审查的生效

  • 2017-11-28

    公开

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