法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-01
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H02M3/335 申请公布日:20171201 申请日:20170803
发明专利申请公布后的视为撤回
2017-12-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H02M3/335 申请日:20170803
实质审查的生效
2017-12-01
公开
公开
机译: 在沉积或去除表面时测量速度或电流效率的装置和方法以及基于该装置和方法的过程控制
机译: 在沉积或去除表面时测量速度或电流效率的装置和方法以及基于该装置和方法的过程控制
机译: 在沉积或去除表面时测量速度或电流效率的装置和方法以及基于该装置和方法的过程控制