具有不同加热器迹线材料的层压加热器

摘要

本发明提供一种具有不同加热器迹线材料的层压加热器。用于衬底处理系统的衬底支撑件包括多个加热区域、基板、布置在基板上的加热层和陶瓷层中的至少一个、以及设置在加热层和陶瓷层中的至少一个内的多个加热元件。多个加热元件包括具有第一电阻的第一材料。在多个加热区域的第一区域中通过基板提供接线。电连接从第一区域中的接线布线到多个加热元件的第一加热元件。第一加热元件布置在多个加热区域的第二区域中，并且电连接包括具有小于第一电阻的第二电阻的第二材料。