采用多晶硅还原系统生产多晶硅的方法及多晶硅还原系统

摘要

本发明公开了一种采用多晶硅还原系统生产多晶硅的方法以及多晶硅还原系统，该方法包括进料步骤和尾气控制步骤，在进料步骤中，在多晶硅生产的中后期，将未经预热的冷氢与经加热后的混合气体混合，再送入还原炉中，所述混合气体为三氯氢硅和氢气的混合气体。该方法及系统能够解决多晶硅还原系统运行中进料温度过高的问题。