一种连续生产ZnS薄膜的CBD反应沉积装置及方法

摘要

一种连续生产ZnS薄膜的CBD反应沉积装置及方法，所述的装置包括内置有反应药液的反应槽，反应槽由低温段CBD沉积槽和高温段CBD沉积槽依次相接构成，低温段CBD沉积槽和高温段CBD沉积槽分别配置有各自独立循环的、各自连通循环冷却水以控制反应药液温度的低温段混料箱体和高温段混料箱体，高温段CBD沉积槽后面依次相接有清洗和干燥箱体并在前后各配置薄膜卷筒放料辊筒和薄膜卷筒收卷辊筒；方法包括：准备铜铟镓硒柔性薄膜太阳能电池所选用的衬底；配制反应液；将聚酰亚胺薄膜柔性衬底通过传输装置送至CBD反应槽上部；低温段CBD反应沉积槽与高温段CBD反应沉积槽各自独立循环；沉积衬底覆盖在CBD沉积槽上方，镀层面接触反应液。