公开/公告号CN107314049A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-11-03
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市华星光电技术有限公司;
申请/专利号CN201710670627.1
发明设计人 豆伟浩;
申请日2017-08-08
分类号F16D3/26(20060101);
代理机构44238 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙);
代理人潘中毅;熊贤卿
地址 518000 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
入库时间 2023-06-19 03:42:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-28
实质审查的生效 IPC(主分类):F16D3/26 申请日:20170808
实质审查的生效
2017-11-03
公开
公开
机译: 盘状物体的光学检查系统半导体晶片,具有用于对结构化表面,边界区域,延伸的边缘和圆盘状物体的背面进行宏观检查和微观检查的检查模块
机译: 金属螯合物的多氨基有机物检查宏观循环的价值及其图像诊断的用途。
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