流量可控的高活性硒或硫裂解气的产生装置及产生方法

摘要

流量可控的高活性硒或硫裂解气的产生装置及产生方法，其装置包括蒸发器、裂解筒和节流片，蒸发器采用内加热式，利用热辐射器对硒或硫表面进行辐射加热，使固体硒或硫熔化成液态，并在5～10KPa的压强下蒸发出硒蒸汽或硫蒸汽，经过节流片上的节流孔进入裂解筒裂解为小分子硒或硫裂解气，用于制备硒化物半导体材料或硫化物半导体材料。本发明的方法是在真空或高纯度惰性气体的气氛下，给蒸发器和裂解筒加热，使固体硒或硫转化成蒸汽，并经裂解筒裂解为小分子裂解气。本发明将固态硒或硫转化为汽态，经高温热裂解获得高活性硒或硫裂解气，并可抵抗周边温度的影响，使裂解气流量得到有效控制，能为硒化或硫化系统或蒸发系统提供高活性硒或硫裂解气。