一种基于介质电润湿效应的光开关

摘要

本发明公开了一种基于介质电润湿效应的光开关，该光开关采用三层结构，第一层为上极板，由方形透明玻璃1、透明电极2以及疏水薄膜3组成；第二层为方形透明玻璃层10，沿它的对角线开一条微流道5，流道中有受控离散电解质液滴4，在玻璃层同一水平面上开4个条形介质光波导6、7、8、9；第三层为下极板，由方形透明玻璃作基底15，多晶硅作衬底14，衬底上扩磷及光刻图形化微电极阵列13，电极阵列上有介质层12，介质层上涂覆一层疏水薄膜11。该光开关无需使用电机等复杂器件，使得制作成本、生产工艺大大降低，具有重要的技术价值和经济价值。