紫外光敏传感器、其制备方法、紫外光敏器件及紫外光检测方法

摘要

一种紫外光敏传感器的制备方法，包括：制作电极，制备氧化锌悬浮液，制作氧化锌感光薄膜，热处理与封装。由该方法制备的紫外光敏传感器，包括：氧化锌感光薄膜，用于探测紫外光；第一电极和第二电极，二者互不接触，位于氧化锌感光薄膜同一侧，是电信号输出端。一种紫外光敏器件，包括光敏元件模块和信号采集模块。一种紫外光检测方法，包括：在待测光照射下，光敏元件模块的光敏电阻产生阻值变化而输出电信号；信号采集模块采集和处理与光敏电阻串联的分压电阻输出的分压，根据相邻固定时间段内的分压差值，确定是否刷新显示。

说明书

技术领域

本发明涉及传感器领域，尤其涉及基于氧化锌的紫外光传感器及其制备方法与应用。

背景技术

氧化锌材料具有3.7eV的禁带宽度，材料电阻只对180nm-365nm波长的紫外光具有响应，对可见光及红外光没有响应，是很好的宽禁带光敏材料。用纯氧化锌材料制作的紫外光传感器能够很好的避免紫外波段以外的其它波段光线的干扰，从而有效避免误报警的出现。

现有的紫外光传感器信号采集方式，是通过光敏材料在光照激发下达到稳定态，以不同光照下光敏材料电阻的差异性表征光强度的不同。

在这种信号采集方式的基础上，现有的紫外光敏器件产品，以GaN类和冷阴极管类紫外光传感器为主。GaN类器件主要以GaN为光敏材料，以成本高昂的GaN作为衬底，同时由于工艺技术的问题，GaN无法形成大面积的光敏材料，也限制了该类紫外器件的受光面积。雪崩型光电管类产品虽然具有灵敏度高，测试精度高等优点，但是需要在高电压(220V以上)下才能进行工作，同时，雪崩型光电管具有需要真空封装，易破损，体积大，使用寿命不长，成本高等缺点，不适用于便携式装备和普通对测试精度要求不高的环境。硅类衬底上的氧化锌产品，具有较好的光响应，但是因为硅本身是窄禁带材料，对可见光具有响应，会造成器件对紫外波段以外的其他光的误响应。而氧化锌通过溅射等工艺制作在绝缘衬底上，其响应速度极慢，无法满足快速测试的需求。

另外，无论是制作在Si衬底上还是制作在其它绝缘类衬底上的氧化锌紫外传感器，因为氧化锌材料本身的紫外响应特点，导致在光态下，光敏材料光态电阻达到稳定的时间很长，很难快速确定稳定值。

发明内容

本发明的发明目的是针对现有技术的缺陷，提供一种紫外光敏传感器的制备方法，由该方法制备得到的紫外光敏传感器，应用该紫外光敏传感器的紫外光敏器件，以及基于该紫外光敏器件所实现的紫外光检测方法。

第一方面，本发明提供了一种紫外光敏传感器的制备方法，包括：

(1)制作电极：在ITO导电玻璃表面制作第一电极和第二电极，第一电极和第二电极互不接触；

(2)制备氧化锌悬浮液：将粘结剂加入到有机溶剂中充分溶解得到粘结剂溶液，然后向其中加入氧化锌纳米粉体，混合均匀得到氧化锌悬浮液；

(3)制作氧化锌感光薄膜：将步骤(2)制备的氧化锌悬浮液喷涂至步骤(1)制作的第一电极和第二电极表面以形成氧化锌感光薄膜；

(4)热处理与封装。

第二方面，本发明提供了采用上述方法制备的紫外光敏传感器，包括：氧化锌感光薄膜，第一电极和第二电极；其中，

所述氧化锌感光薄膜用于探测紫外光；

所述第一电极和所述第二电极互不接触，位于所述氧化锌感光薄膜的同一侧，作为所述紫外光敏传感器的电信号输出端。

第三方面，本发明提供了一种紫外光敏器件，包括光敏元件模块和信号采集模块；其中，

所述光敏元件模块是本发明第一方面的制备方法制备得到的紫外光敏传感器或本发明第二方面的紫外光敏传感器，用于在待测光照下光敏电阻产生阻值变化并输出电信号；

所述信号采集模块用于采集和处理与所述光敏电阻串联的分压电阻输出的分压，根据相邻固定时间段内的分压差值，确定是否刷新显示；

所述光敏元件模块通过引出电极与所述分压电阻串联连接。

第四方面，本发明提供了一种应用上述紫外光敏器件的紫外光检测方法，包括：

(1)在待测光照射下，光敏元件模块的光敏电阻产生阻值变化而输出电信号；

(2)信号采集模块采集和处理与所述光敏电阻串联的分压电阻输出的分压，根据相邻固定时间段内的分压差值，确定是否刷新显示。

相对于现有技术，本发明的技术方案具有如下优点：

(1)采用氧化锌粉体为原料，在有机溶剂中制备氧化锌悬浮液，通过将该悬浮液喷涂于电极表面来制作感光薄膜，使得本发明的制备方法工艺简单、成本低廉、适合大规模工业化生产。

(2)本发明的紫外光敏传感器以氧化锌为光敏材料，可以有效避免紫外光波段以外的其它波段光对传感器的干扰；相对于传统的紫外光敏传感器，本发明的紫外光敏传感器能够很好的避免可见光的干扰，相对于现有GaN类紫外光敏传感器，本发明的紫外光敏传感器具有很好的成本优势。

(3)本发明的紫外光敏器件以及基于该器件的紫外光检测方法，克服了氧化锌光电电阻稳定缓慢导致的数据采集时间过长的缺点，可实现稳定快速取值，和稳定表征紫外光强度。

附图说明

图1是本发明的紫外光敏传感器制备方法的工艺流程图；

图2是本发明的紫外光敏传感器采用的叉指电极的示意图；

图3是本发明的紫外光敏器件的示意图；

图4是本发明的紫外光敏传感器的响应效果图。

具体实施方式

为充分了解本发明之目的、特征及功效，借由下述具体的实施方式，对本发明做详细说明，但本发明并不仅仅限于此。

第一方面，本发明提供了一种紫外光敏传感器的制备方法。下面结合图1对制备方法进行说明。

(1)制作电极

以激光刻蚀的方式在ITO导电玻璃表面制作第一电极和第二电极，第一电极和第二电极为叉指电极对。

制作电极的目的是为了能使紫外光敏传感器形成良好的欧姆接触，从而有效的在紫外光敏传感器两端加载工作电压，并有效输出紫外光敏传感器对紫外光的电流变化。其中，第一电极和第二电极之间的距离会影响紫外光敏传感器的光响应度和响应速度，第一电极和第二电极的间距优选是50微米至500微米，更优选是100微米。

优选地，为了便于紫外光敏传感器两极与外部电路连接，还可以进一步在第一电极和第二电极上制作引出电极，具体地，在第一电极和第二电极上焊接或粘贴引出导电线或导电管脚(如图2所示)。其中，引出电极与第一电极和第二电极的接触电阻会影响器件的响应度，优选地，接触电阻是小于0.005欧姆。

(2)制备氧化锌悬浮液

将粘结剂加入到有机溶剂中充分溶解得到粘结剂溶液，然后向其中加入氧化锌纳米粉体，混合均匀得到氧化锌悬浮液。本发明的制备方法对粘结剂和有机溶剂的种类没有特殊的要求，高分子粘结剂和透明树脂类粘结剂以及挥发性有机溶剂均可用于本发明的制备方法，根据实际生产的需要，本领域技术人员能够选择合适的粘结剂和有机溶剂，在下面的实施例中仅以乙基纤维素(EC)和无水乙醇为例进行说明。氧化锌纳米粉体与粘结剂混合均匀能够实现氧化锌感光薄膜中颗粒的有效粘结从而增强薄膜的机械强度。

氧化锌的浓度、粘结剂的含量会影响紫外光敏传感器的响应时间。粘结剂与有机溶剂的比例优选是0.001-1克粘结剂：1-50毫升有机溶剂，且更优选是0.005克粘结剂：4毫升有机溶剂。氧化锌纳米粉体与粘结剂溶液的比例优选是0.1-2.0克氧化锌：1-50毫升粘结剂溶液，且更优选是1.5克氧化锌：4毫升粘结剂溶液。

(3)制作氧化锌感光薄膜

将氧化锌悬浮液喷涂至第一电极和第二电极表面，喷涂时间为5秒-20秒，形成氧化锌感光薄膜。薄膜的厚度会影响紫外光敏传感器的响应速度，厚度优选是100-1000微米，且更优选是500微米。

(4)热处理与封装

喷涂氧化锌悬浮液之后，进行热处理，以除去薄膜内的有机溶剂、促进粘结剂固化并提高器件的粘结性和稳定性。热处理的温度和时间会影响紫外光敏传感器的响应速度，热处理的温度优选是50℃-100℃，且更优选是75℃，热处理的时间优选是1分钟-30分钟，且更优选是5分钟。

热处理之后，采用透明高分子材料进行封装，以对器件起到保护作用，防止灰尘、水气以及外力对氧化锌感光薄膜的破坏。

第二方面，本发明提供了一种紫外光敏传感器，采用上述方法制备得到。

本发明的紫外光敏传感器为无基底紫外光敏传感器，其包括氧化锌感光薄膜以及第一电极和第二电极。其中，氧化锌感光薄膜用于探测紫外光；第一电极和第二电极互不接触，作为无基底紫外光敏传感器的电信号输出端。

第一电极和第二电极可以是叉指电极，位于氧化锌感光薄膜的同一侧表面，两电极之间保持一定的距离，例如，50微米至500微米，优选100微米。

进一步地，为了更加容易地使紫外光敏传感器与外部电路进行连接，还可以在第一电极和第二电极上设置引出电极，例如，在电极上粘附引出导电线或导电管脚(如图2所示)。

本发明的紫外光敏传感器的制备方法工艺简单、成本低廉、适合大规模工业化生产。得到的紫外光敏传感器以宽禁带的氧化锌材料为主，仅对紫外波段光有响应，避免了紫外波段以外的其它光对器件的影响。本发明第一方面和第二方面的技术方案也可以扩展到气敏、压敏传感器的应用。

第三方面，本发明提供了一种紫外光敏器件，包括光敏元件模块和信号采集模块。其中，光敏元件模块用于通过光敏材料在光照下产生阻值变化。信号采集模块通过与光敏电阻串联的分压电阻输出分压，以该分压值的变化表征紫外光强度的变化。光敏元件模块通过引出电极与信号采集模块连接。下面结合图3对本发明的紫外光敏器件进行说明。

本发明紫外光敏器件的光敏元件模块采用本发明的紫外光敏传感器，在待测光照下光敏电阻产生阻值变化并输出电信号。

本发明紫外光敏器件的信号采集模块依次包括稳压模块、分压信号采集模块、信号处理模块和显示模块。其中，稳压模块(图3中未示出)与分压电阻的两端连接，用于将分压电阻输出的分压转换为稳定电压，以减小电源波动造成的测试差异性。分压信号采集模块与稳压模块连接，通过芯片时时采集稳压模块稳定处理后的分压值。信号处理模块与分压信号采集模块相连，用于每隔固定时间段(例如每1/50秒，本领域技术人员也可以根据具体需要来设定)计算一次分压平均值，对相邻固定时间段内计算得到的分压平均值进行差值运算和对比运算。显示模块与信号处理模块相连，用于当差值运算和对比运算的结果大于设定值时，实时刷新显示所采集的分压值；当差值运算和对比运算的结果小于或等于设定值时，停止刷新，显示恒定分压值。

第四方面，本发明提供了应用上述紫外光敏器件所进行的紫外光检测方法。该方法包括如下步骤：

第一步，在待测光照射下，光敏元件模块的光敏电阻产生阻值变化而输出电信号。

第二步，信号采集模块采集和处理与所述光敏电阻串联的分压电阻输出的分压，根据相邻固定时间段内的分压差值，确定是否刷新显示。

具体地，与光敏元件模块串联的分压电阻输出分压，稳压模块将该分压转换为稳定电压，通常，稳压模块将分压电阻输入的5V电压转换为3±0.01V稳定电压，以减小电源波动造成的测试差异性。分压信号采集模块通过芯片时时采集经稳压模块稳定处理后的分压值，数据采集频率是500-1000次/秒。随后，信号处理模块对分压信号采集模块时时采集的分压值进行差值运算和对比运算，每1/50秒计算分压平均值，时时刷新显示，并在小于或等于设定值时，停止刷新，显示模块显示最终数值，直至再次出现大于设定值时，显示模块重新刷新显示。具体地，当差值与设定值满足(V_n+1-V_n)＞M时，显示模块刷新显示结果；其中，V_n是第n/50秒时的分压平均值，n为正整数；M是设定值，且0.1V≤M≤0.5V，本领域技术人员可以根据实际需要选择合适的设定值。

本发明的紫外光敏器件以及基于该器件的紫外光检测方法，解决了目前氧化锌光电电阻稳定缓慢导致的数据采集时间过长的问题，实现了稳定快速取值，并且能够表征紫外光强度。

下面通过具体的实施例来阐述本发明技术方案的实施，本领域技术人员应当理解的是，这不应被理解为对本发明权利要求范围的限制。实施例中所使用的各种制剂、物质，均为常规市购得到。

实施例1

本实施例的紫外光敏传感器的制备方法如下：

(1)制作电极

以激光刻蚀的方式在ITO导电玻璃表面刻蚀出叉指电极图形(如图2所示)，电极的间距300微米，在叉指电极上分别粘附引出电极。

(2)制备氧化锌悬浮液

将粘结剂乙基纤维素0.5克溶解在50毫升无水乙醇中，搅拌至充分溶解得到粘结剂溶液；随后再将2克氧化锌纳米粉体加入到该粘结剂溶液，搅拌至充分混合均匀得到氧化锌悬浮液。

(3)制作氧化锌感光薄膜

将步骤(2)制备的氧化锌悬浮液喷涂至步骤(1)制作的叉指电极上，当氧化锌感光薄膜为500微米时停止喷涂。

(4)热处理与封装

在80℃温度下烘15分钟，以使除去薄膜内的无水乙醇，随后用亚力克板和热溶胶进行封装，得到紫外光敏传感器。

紫外光敏传感器以电化学工作站(CHI660E，上海辰华仪器)来量测传感器的电流--时间变化，如图4所示。

以本发明的紫外光敏器件进行紫外光检测。信号采集频率是500次/秒，每1/50秒计算分压平均值，按时间顺序，相邻值求差，设定值为0.1V，即(V_n+1-V_n)＜0.1V时，显示模块数据停止刷新，显示为恒定值，并以此值表征此时的紫外光强度；当再次出现(V_n+1-V_n)＞0.1V时，显示模块重新刷新显示。

测试结果稳定，如表1所示，不同次数测得分压值求平均值，通过分压数值平均值与对应紫外光强度关系，可表征待测紫外光强度。

表1

实施例2

采用实施例1中的紫外光敏器件进行紫外光检测。信号采集频率是1000次/秒，每1/50秒计算分压平均值，按时间顺序，相邻值求差，设定值为0.5V，即(V_n+1-V_n)＜0.5V时，显示模块数据停止刷新，显示为恒定值，并以此值表征此时的紫外光强度；当再次出现(V_n+1-V_n)＞0.5V时，显示模块重新刷新显示。

测试结果稳定，如表2所示。

表2

实施例3

本实施例的紫外光敏传感器的制备方法如下：

(1)制作电极

以激光刻蚀的方式在ITO导电玻璃表面刻蚀出叉指电极图形，电极的间距50微米，在叉指电极上分别粘附引出电极。

(2)制备氧化锌悬浮液

将粘结剂乙基纤维素0.001克溶解在1毫升无水乙醇中，搅拌至充分溶解得到粘结剂溶液；随后再将0.1克氧化锌纳米粉体加入到该粘结剂溶液，搅拌至充分混合均匀得到氧化锌悬浮液。

(3)制作氧化锌感光薄膜

将步骤(2)制备的氧化锌悬浮液喷涂至步骤(1)制作的叉指电极上，当氧化锌感光薄膜为100微米时停止喷涂。

(4)热处理与封装

在50℃温度下烘30分钟，以使除去薄膜内的无水乙醇，随后用亚力克板和热溶胶进行封装，得到紫外光敏传感器。

采用实施例1中的方法进行紫外光检测，测试结果稳定。

实施例4

本实施例的紫外光敏传感器的制备方法如下：

(1)制作电极

以激光刻蚀的方式在ITO导电玻璃表面刻蚀出叉指电极图形，电极的间距500微米，在叉指电极上分别粘附引出电极。

(2)制备氧化锌悬浮液

将粘结剂乙基纤维素1克溶解在50毫升无水乙醇中，搅拌至充分溶解得到粘结剂溶液；随后再将2.0克氧化锌纳米粉体加入到该粘结剂溶液，搅拌至充分混合均匀得到氧化锌悬浮液。

(3)制作氧化锌感光薄膜

将步骤(2)制备的氧化锌悬浮液喷涂至步骤(1)制作的叉指电极上，当氧化锌感光薄膜为500微米时停止喷涂。

(4)热处理与封装

在100℃温度下烘5分钟，以使除去薄膜内的无水乙醇，随后用亚力克板和热溶胶进行封装，得到紫外光敏传感器。

采用实施例1中的方法进行紫外光检测，测试结果稳定。

实施例5

本实施例的紫外光敏传感器的制备方法如下：

(1)制作电极

以激光刻蚀的方式在ITO导电玻璃表面刻蚀出叉指电极图形，电极的间距100微米，在叉指电极上分别粘附引出电极。

(2)制备氧化锌悬浮液

将粘结剂乙基纤维素0.005克溶解在4毫升无水乙醇中，搅拌至充分溶解得到粘结剂溶液；随后再将1.5克氧化锌纳米粉体加入到该粘结剂溶液，搅拌至充分混合均匀得到氧化锌悬浮液。

(3)制作氧化锌感光薄膜

将步骤(2)制备的氧化锌悬浮液喷涂至步骤(1)制作的叉指电极上，当氧化锌感光薄膜为500微米时停止喷涂。

(4)热处理与封装

在75℃温度下烘5分钟，以使除去薄膜内的无水乙醇，随后用亚力克板和热溶胶进行封装，得到紫外光敏传感器。

采用实施例1中的方法进行紫外光检测，测试结果稳定。

最后，需要注意的是：以上列举的仅是本发明的具体实施例子，当然本领域的技术人员可以对本发明进行改动和变型，倘若这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，均应认为是本发明的保护范围。