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公开/公告号CN107247387A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-10-13
原文格式PDF
申请/专利权人 沈阳航空航天大学;
申请/专利号CN201710545590.X
发明设计人 王珩;徐世峰;马佳;王兆阳;姚承君;荆喆;
申请日2017-07-06
分类号G03F7/031(20060101);
代理机构21229 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙);
代理人甄玉荃
地址 110136 辽宁省沈阳市沈北新区道义南大街37号
入库时间 2023-06-19 03:27:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/031 申请日:20170706
实质审查的生效
2017-10-13
公开
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