公开/公告号CN107172568A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-09-15
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市泰衡诺科技有限公司上海分公司;
申请/专利号CN201710517924.2
申请日2017-06-29
分类号H04S7/00(20060101);H04R29/00(20060101);H04R3/04(20060101);
代理机构31249 上海信好专利代理事务所(普通合伙);
代理人潘朱慧
地址 201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区郭守敬路433号、居里路133号3幢3层
入库时间 2023-06-19 03:24:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H04S7/00 申请日:20170629
实质审查的生效
2017-09-15
公开
公开
机译: 一种校准工具,一种光刻设备,一种校准方法,一种设备制造方法及其制造的设备
机译: 一种用于校准设备的方法,一种用于并排校准多个设备的方法以及实现这种方法的合适对象
机译: 一种用于校准设备的方法,一种用于并排校准多个设备的方法以及实现这种方法的合适对象