基于电压探针和电流探针的离子回旋天线阻抗测量系统

摘要

本发明公开了一种基于电压探针和电流探针的离子回旋天线阻抗测量系统，包括同轴传输线、电压探针、电流探针、两个功分器、两个检波器、鉴相器，同轴传输线用于传输高功率离子回旋射频波；电压探针耦合出传输线中的电场，测量传输线电压；电流探针耦合出传输线中的磁场，测量传输线电流；功分器将电压探针和电流探针信号等幅值，等相位分配为两路；检波器检测电压探针和电流探针射频信号的峰峰值，结果以直流信号输出；鉴相器检测电压探针和电流探针信号之间相位差，结果以直流信号输出。本发明通过对传输线电压、传输线电流以及电压电流之间相位差的测量，结合公式：可求得离子回旋天线阻抗，为相关研究提供必要手段。