一种基于柔性衬底的气敏膜的制备方法及气体传感器

摘要

为解决现有VOCs气体传感器存在的诸多问题，本发明提供了一种新颖的方法制备基于改性CNT/金属纳米颗粒(MNPs)/金属氧化物纳米颗粒(MONPs)杂化材料的气敏材料，该材料可用于制备低功耗、高灵敏度VOCs气体传感器。本发明的同时也提供了一种基于CNT/MNPs/MONPs气敏材料的VOCs气体传感器的制备方法。该制备方法能够使VOC气体传感器小型化，一致性好，超快响应，同时实现极低的检测功耗。同时制备工艺流程简单，可以实现规模化的生产。本发明的气体传感器，其特征在于结构从下至上依次包括为亲水性处理后的聚酰亚胺(PI)柔性基底层，金属电极层和CNT/MNPs/MONPs气敏材料层。