共聚焦非接触式位置传感器

摘要

本发明公开了一种共聚焦非接触式位置传感器。该传感器利用光源通过针孔形成点光源，点光源先通过平行光管形成平行光束，再通过起偏器获得线偏振光，将获得的线偏振光经1/4波片变成圆偏振光经物镜聚焦到物体表面，光线从物体表面反射经物镜、1/4波片、检偏器和小孔到达光电探测器，探测器产生一个最大输出电流信号，当物体不在焦平面位置时，由于小孔的限制，探测器的输出信号会变得非常弱，探测器的探测信号经后续的处理电路进行放大并经过比较电路转换成电压信号输出，通过观察输出的电压信号，可以获得物体的位置信息。本发明的优点在于测量时不需要接触物体、测量精度高、工作距离长、应用范围广等。