用于切割和切割后加工硬质电介质材料的多激光器系统和方法

摘要

对硬质电介质材料的激光加工可以包括：使用按照准连续波(QCW)模式操作的连续波激光器从硬质电介质材料切割一部分，其中该连续波激光器发射波长范围在约1060nm至1070nm内的连续激光脉冲。可以在较低占空比(例如，约1％至15％之间)并在惰性气体氛围下执行使用QCW激光器的切割。硬质电介质材料的激光加工还可以包括：对从电介质材料切割的部分的切割边缘进行切割后加工，例如通过斜切和/或抛光所述边缘以减少边缘缺陷。可以使用具有与用于切割的光束不同激光参数的激光束来执行切割后加工，例如通过使用较短波长(例如，193nm准分子激光器)和/或较短脉冲宽度(例如，皮秒激光器)。