用于在未支撑层中烧蚀开口的方法

摘要

本发明涉及一种在聚合物层中形成开口的方法，其包括：将材料层定位在空腔上方，使得所述第一材料的一部分位于空腔上方；以第一形状烧蚀所述材料的所述部分；以及以第二形状烧蚀所述材料的所述部分，其中所述第二形状位于所述第一形状内。一种在聚合物层中形成开口的方法包括：将第一材料层定位在具有空腔的第二材料上方，使得所述第一材料的一部分位于所述空腔上方；以第一形状烧蚀在所述空腔上方的所述第一材料的部分；以及以第二形状烧蚀在所述空腔上方的所述第二材料的部分，其中所述第二形状位于所述第一形状内。