公开/公告号CN107107309A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-29
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社荏原制作所;
申请/专利号CN201680003000.4
申请日2016-01-18
分类号B24B37/34(20060101);B24B37/10(20060101);H01L21/304(20060101);
代理机构31300 上海华诚知识产权代理有限公司;
代理人肖华
地址 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
入库时间 2023-06-19 03:10:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-23
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B37/34 申请日:20160118
实质审查的生效
2017-08-29
公开
公开
机译: 研磨抛光机中毛刷磨损量的校正方法
机译: 工件表面处理的方法,包括将工件浸入研磨或抛光颗粒的填充床中,其中填充床存在于容器中
机译: 工件的表面处理方法,涉及对工件施加大于环境压力的流体压力,并将其浸入抛光和研磨颗粒的填充床中