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公开/公告号CN107067275A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-18
原文格式PDF
申请/专利权人 山东省科学院新材料研究所;
申请/专利号CN201710016814.8
发明设计人 邵艳秋;朱英;田超;杨凯;单然然;史会剑;
申请日2017-01-10
分类号
代理机构济南圣达知识产权代理有限公司;
代理人王志坤
地址 250014 山东省济南市科院路19号
入库时间 2023-06-19 03:05:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G06Q30/02 申请日:20170110
实质审查的生效
2017-08-18
公开
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机译: 晶体管中先进的硅化物形成与后退的排水源区
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