一种耐受高激光功率的液晶光学相控阵装置

摘要

本发明公开了一种耐受高激光功率的液晶光学相控阵装置，包括散热组件和液晶光学相控阵组件；液晶光学相控阵组件依次包括高掺杂硅片、全反膜、PI取向膜、ITO阵列电极和石英基板；所述PI取向膜设有两层，两层PI取向膜之间设有向列型液晶层；高掺杂硅片贴合在散热器件组件上。本发明用高掺杂硅片作为液晶光学相控阵的基底，并在硅基板上镀一层1064nm波长的全反膜，当强激光入射液晶光学相控阵的时候，此时器件中只有ITO阵列吸收激光，硅片上1064nm全反膜会将激光全部反射，使得硅片不会吸收激光发热；同时利用硅片良好的导热性，将液晶光学相控阵组件产生的热量迅速导向散热组件，散热组件通过散热阵列和水冷散热结构，实现快速散热。