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一种高速扫描隧穿显微镜测绝缘样品膜厚形貌缺陷的方法

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本发明公开了一种高速扫描隧穿显微镜测绝缘样品膜厚形貌缺陷的方法，包括恒高模式扫描隧道显微镜系统及位于该恒高模式扫描隧道显微镜系统导电电极与导电针尖之间的电介质样品，当电介质样品的介电常数大于电介质样品与针尖间辅助电介质的介电常数、且所述的导电针尖与电介质样品间的相对扫描速度v≥2.26×10

著录项

公开/公告号CN106970246A

专利类型发明专利
公开/公告日2017-07-21

原文格式PDF
申请/专利权人河南师范大学;
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申请/专利号CN201710074930.5
发明设计人李全锋;
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申请日2017-02-13
分类号
代理机构新乡市平原专利有限责任公司;
代理人于兆惠
地址 453007 河南省新乡市牧野区建设东路46号
入库时间 2023-06-19 02:52:30

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-12-05

实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q60/10 申请日:20170213

实质审查的生效
2017-07-21

公开

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