一种高速高精台式平面近场扫描架

摘要

本发明公开了一种高速高精台式平面近场扫描架，包括光学平台、二维扫描平面机构、测试探头、伺服控制驱动一体化机箱；二维扫描平面机构为十字支撑结构，包括水平横梁和垂向立柱，垂向立柱还包括一个探头安装平面，用于安装所述测试探头；二维扫描平面机构和测试探头均设置在光学平台上方；伺服控制驱动一体化机箱控制垂向立柱在扫描过程中在水平横梁上面进行左右平移运动，测试探头在扫描过程中在垂向立柱上进行上下升降运动。本发明的扫描架具有扫描速度快、平面度高、重复定位精度高等优点，同时整体结构紧凑，便于安装运输。本方面的近场扫描架应用前景广泛，较传统的扫描架在性能上有了明显的改善。