使用分析/统计建模来进行连续过程验证的方法和装置

摘要

本发明公开了使用分析/统计建模来进行连续过程验证(CPV)的方法和装置。所公开的示例方法包括：基于在第一时间制造第一批次时所测量的第一历史批次数据集来确定多个参数的分布特性，以及基于所述多个参数的分布特性来生成模型批次。示例方法还包括：针对第一组仿真批次中的每一个仿真批次，通过执行以下操作来生成对应于第一组仿真批次的第一组仿真批次数据集：基于模型批次来生成所述多个参数的值，以及基于所生成的值来确定质量预测。所公开的示例方法还包括：基于第一组仿真批次数据集和第一历史批次数据集来生成模型。该模型将被实现以监测后续对第二批次的制造。