高结晶质量N型Ag掺杂PbTe基热电薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种具有(2×2)重构表面的高结晶质量N型Ag掺杂PbTe基热电薄膜的制备方法，Ag的掺杂量≤5％。采用分子束外延法来实现薄膜的制备，通过优化制备条件，Ag掺杂PbTe基热电薄膜可实现层状平铺生长，且表面发生的(2×2)重构，薄膜结晶质量、热电性能均优于未掺杂的PbTe热电薄膜；本发明表面(2×2)重构还可为基于PbTe薄膜材料的量子点、量子阱等低维结构的制备提供大尺度周期性晶格模板，并应用于低维高性能PbTe基热电材料的制备，以进一步提高PbTe基材料的热电性能。