防振用电磁式致动器及其制造方法、使用防振用电磁式致动器的能动型流体封入式防振装置以及能动型减振装置

摘要

本发明提供能够稳定地获得作为目的的输出且能够以简单的构造而实现动作的稳定化、耐久性的提高等的、新型构造的防振用电磁式致动器及其制造方法、以及利用上述防振用电磁式致动器而构成的新型构造的能动型流体封入式防振装置和能动型减振装置。防振用电磁式致动器10具有利用支承橡胶弹性体30将筒状的固定件68、和插入于固定件68且允许轴向上的相对移位的可动件70相互弹性连结的构造，其中，壳体86具备筒状的周壁部88，固定件68配置于周壁部88的内周，并且在与轴成直角的方向上在周壁部88与固定件68之间设置有间隙118，固定件68在通过相对于壳体86在与轴成直角的方向上相对移位而与可动件70对位的状态下安装于壳体86。

说明书

技术领域

本发明涉及通过对线圈通电而产生可动件针对固定件的驱动力的防振用电磁式致动器及其制造方法，并进一步涉及使防振用电磁式致动器产生的力作用于流体室而以抵消的方式减弱振动的能动型流体封入式防振装置、以及利用防振用电磁式致动器产生的力以抵消的方式减弱减振对象部件的振动的能动型减振装置。

背景技术

以往，在能动型流体封入式防振装置、能动型减振装置等中，作为产生激振力的致动器而采用防振用电磁式致动器。防振用电磁式致动器具备：筒状的固定件，其容纳于壳体；以及可动件，其以相对于固定件能够相对移位的方式插入于该固定件，上述固定件和可动件分别具备线圈部件和电枢中的一方，该线圈部件具备通过通电而形成磁场的线圈，该电枢借助通过线圈形成的磁场的作用所产生的力而相对于线圈部件进行相对移位。此外，日本特许第3845421号公报(专利文献1)所示的防振用电磁式致动器具有如下构造：具备线圈部件的筒状的固定件外插于具备电枢的可动件。

但是，在专利文献1中，安装于线圈的外磁轭在与轴成直角的方向上抵接嵌装于壳体的周壁部，固定件由壳体设定了与轴成直角的方向上的位置。另一方面，可动件借助支承橡胶弹性体而相对于壳体在与轴成直角的方向上被弹性地定位。因此，固定件和可动件相对于壳体在与轴成直角的方向上分别被高精度地对位，由此在与轴成直角的方向上相对地对固定件和可动件进行对位。

然而，实际上因零件的尺寸误差、支承橡胶弹性体成形后的收缩等而难以避免固定件和可动件的相对位置的错动，输出特性的偏差、固定件侧和可动件侧在周向上的局部强烈地抵接而引起的磨损、以及支承橡胶弹性体的形变等有可能成为问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第3845421号公报

发明内容

发明所要解决的问题

本发明是以上述情形为背景而完成的，其解决的课题在于提供能够稳定地获得作为目的的输出且能够以简单的构造而实现动作的稳定化、耐久性的提高等的、新型构造的防振用电磁式致动器及其制造方法。

进一步，本发明的目的在于，提供具备能发挥如上所述的效果的防振用电磁式致动器的、新型构造的能动型流体封入式防振装置以及能动型减振装置。

用于解决问题的方法

以下，对为了解决这样的问题而完成的本发明的方式进行记载。此外，能够尽量以任意的组合方式而采用以下记载的各方式中所采用的结构要素。

即，本发明的第一方式是一种防振用电磁式致动器，其利用支承橡胶弹性体将筒状的固定件和可动件相互弹性连结，该固定件安装于壳体，该可动件插入于固定件、且允许轴向上的相对移位，并且，所述固定件和所述可动件分别具备线圈部件和电枢中的一方，所述线圈部件具备通过通电而产生磁场的线圈，所述电枢在该线圈所产生的磁场的作用下相对于该线圈部件进行相对移位，所述防振用电磁式致动器的特征在于，所述壳体具备筒状的周壁部，所述固定件配置于该周壁部的内周，并且在与轴成直角的方向上在该周壁部与该固定件之间设置有间隙，该固定件在通过相对于该壳体在与轴成直角的方向上相对移位而与所述可动件对位的状态下安装于该壳体。

根据形成为这样的依照本发明的第一方式的构造的防振用电磁式致动器，通过在固定件与壳体的周壁部之间设置间隙而允许固定件和周壁部在与轴成直角的方向上的相对移位。由此，与利用支承橡胶弹性体而相对于壳体进行弹性定位之后的可动件的位置一致地对固定件相对于壳体的相对位置进行调节，由此能够使配置于周壁部的内周的固定件与可动件对位。其结果，在可动件相对于固定件的插入状态下，能减弱输入至支承橡胶弹性体的形变，并且能够避免固定件和可动件在与轴成直角的方向上相互按压所引起的磨损程度的增大、因卡挂而引起的动作不良等。

本发明的第二方式在第一方式所记载的防振用电磁式致动器的基础上，相对于所述可动件在与轴成直角的方向上对位之后的所述固定件，被固定为相对于所述壳体在与轴成直角的方向上无法进行相对移位。

根据第二方式，通过将相对于可动件对位之后的固定件固定于壳体，能够将固定件和可动件保持为在与轴成直角的方向上相对定位的状态，并且还能避免因固定件相对于壳体的移动而引起的异响等。

本发明的第三方式在第二方式所记载的防振用电磁式致动器的基础上，所述壳体形成为有底杯状，并且在所述支承橡胶弹性体固接有支承金属件，该支承金属件固定于该壳体，另一方面，相对于所述可动件在与轴成直角的方向上对位之后的所述固定件，在轴向上夹持于该壳体的底壁部与该支承金属件之间、且固定为相对于该壳体在与轴成直角的方向上无法进行相对移位。

根据第三方式，即便是通过将固定件在轴向上夹入壳体的底壁部与支承金属件之间而在固定件与壳体的周壁部的与轴成直角的方向上的对置面之间设置有间隙的构造，也能够简单地相对于壳体对固定件进行定位固定。

本发明的第四方式在第一至第三方式中任一方式所记载的防振用电磁式致动器的基础上，在所述可动件插通有固接于所述支承橡胶弹性体的输出部件，并设置有能够对该可动件相对于该输出部件的轴向位置进行调整的位置调整机构。

根据第四方式，不仅在与轴成直角的方向上，在轴向上也能够对固定件和可动件进行对位，因此，能够防止因固定件和可动件的相对位置的误差而引起的输出特性的偏差，从而能够稳定地获得作为目的的输出。

本发明的第五方式是第一至第四方式中任一方式所记载的防振用电磁式致动器的制造方法，其特征在于，具有：对位工序，在该对位工序中，将所述固定件配置于所述壳体的所述周壁部的内周，相对于所述可动件在与轴成直角的方向上对该固定件进行对位；以及固定工序，在该固定工序中，将相对于该可动件在与轴成直角的方向上定位之后的该固定件固定为相对于该壳体在与轴成直角的方向上无法进行相对移位。

根据第五方式，在相对于可动件在与轴成直角的方向上对配置于壳体的周壁部的内周的固定件进行对位之后，相对于壳体将固定件固定，由此将固定件保持为相对于可动件对位的状态，并且能防止固定件相对于壳体的相对移位而避免产生异响等。

本发明的第六方式是一种能动型流体封入式防振装置，其特征在于，利用主体橡胶弹性体将第一安装部件和第二安装部件弹性连结，并且形成有壁部的一部分由主体橡胶弹性体构成的流体室，在该流体室中封入有非压缩性流体，并且该流体室的壁部的另一部分由激振部件构成，在该激振部件安装有第一至第四方式中任一方式所记载的防振用电磁式致动器的所述可动件，利用该激振部件而使得该防振用电磁式致动器产生的激振力作用于该流体室。

根据第六方式，通过对防振用电磁式致动器的固定件和可动件相互进行对位而能够稳定地获得作用于流体室的激振力，并且通过抑制固定件和可动件的滑动接触所引起的磨损而能实现优异的耐久性。

本发明的第七方式是一种能动型减振装置，其特征在于，第一至第四方式中任一方式所记载的防振用电磁式致动器的所述壳体安装于减振对象部件，并且利用所述支承橡胶弹性体将所述固定件和所述可动件相互弹性连结。

根据第七方式，通过对防振用电磁式致动器的固定件和可动件进行对位而能够稳定地获得作用于减振对象部件的激振力，并且通过抑制固定件和可动件的滑动接触所引起的磨损而能实现优异的耐久性。

发明效果

根据本发明，在固定件与壳体的周壁部之间设置有间隙，固定件在通过相对于壳体在与轴成直角的方向上相对移位而与可动件对位的状态下安装于壳体。故此，能够与利用支承橡胶弹性体而相对于壳体进行弹性定位之后的可动件的位置一致地对固定件相对于壳体的相对位置进行调节，从而，在可动件相对于固定件的插入状态下，能减弱输入至支承橡胶弹性体的形变，并且能够避免固定件和可动件在与轴成直角的方向上相互按压所引起的磨损程度的增大、因卡挂而引起的动作不良等。

附图说明

图1是表示作为本发明的第一实施方式的发动机支架的纵剖视图。

图2是放大表示图1所示的发动机支架的主要部分的局部纵剖视图，且是放大表示图1中的A部的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

作为本发明的第一实施方式，图1中示出了具备本发明所涉及的防振用电磁式致动器10的作为能动型流体封入式防振装置的发动机支架11。发动机支架11具有利用主体橡胶弹性体16将第一安装部件12和第二安装部件14相互弹性连结的构造。在以下说明中，只要未特别说明，则上下方向是指成为后述的可动件70相对于固定件68的移位方向的图1中的上下方向。

更详细而言，第一安装部件12是由金属、合成树脂等形成的高刚性的部件，具有以近似圆形截面而上下延伸的块体形状，并且在上方一体形成有突出的板状的安装片18，在安装片18贯通形成有螺栓孔20。

第二安装部件14是与第一安装部件12同样的高刚性的部件，以向外周侧开口的槽状纵截面而沿周向延伸，且整体具有薄壁大径的近似圆筒形状。进一步，第二安装部件14的上端部分形成为随着趋向上方而张开的锥形部22，并且下端部分形成为圆环板形状的敛缝板部24。

而且，第一安装部件12配置于第二安装部件14的上方，在上述第一安装部件12与第二安装部件14之间配置有主体橡胶弹性体16。主体橡胶弹性体16具有厚壁的近似圆锥台形状，其小径侧的端部硫化粘接于第一安装部件12，并且大径侧的端部硫化粘接于第二安装部件14。本实施方式的主体橡胶弹性体16形成为具备第一安装部件12和第二安装部件14的一体硫化成形品。

另外，在主体橡胶弹性体16形成有大径凹部26。大径凹部26是在主体橡胶弹性体16的大径侧的轴向端面开口的圆形横截面的凹部，其上底壁面具有朝向上方而缩径的锥形形状。此外，大径凹部26的直径设为比第二安装部件14的内径小，第二安装部件14的内周面由与主体橡胶弹性体16一体形成的近似圆筒形状的橡胶层覆盖。进一步，包括锥形部22在内的第二安装部件14的上端部分由主体橡胶弹性体16覆盖至外周侧，并以埋设状态固接于主体橡胶弹性体16。

另外，在主体橡胶弹性体16的一体硫化成形品安装有支承橡胶弹性体30。支承橡胶弹性体30具有近似圆环板形状，在其外周端部硫化粘接有圆环状的支承金属件32。支承金属件32的内周部分形成为槽状、且固接于支承橡胶弹性体30的外周端部，并且外周部分形成为近似圆环板形状、且从下方与第二安装部件14的敛缝板部24重叠。另外，在支承橡胶弹性体30的内周端部硫化粘接有作为激振部件的输出部件34，支承橡胶弹性体30的中央孔由输出部件34封闭。进一步，输出部件34具有杆状的下部从近似盘状的上部朝轴向下方伸出的构造，并在下端部具备在外周面形成有螺纹牙的外螺纹部35。

而且，通过将具备支承金属件32以及输出部件34的支承橡胶弹性体30安装于主体橡胶弹性体16的一体硫化成形品，由此利用支承橡胶弹性体30以流体密封的方式将主体橡胶弹性体16的大径凹部26覆盖。由此，在主体橡胶弹性体16与支承橡胶弹性体30以及输出部件34之间，利用大径凹部26而形成作为流体室的主液室36。主液室36的壁部的一部分由主体橡胶弹性体16构成，并且壁部的另一部分由支承橡胶弹性体30以及输出部件34构成，且在内部封入有非压缩性流体。封入于主液室36的非压缩性流体并未被特别限定，但优选采用例如水、乙二醇、亚烷基二醇、聚亚烷基二醇、硅油、或者它们的混合液等液体。进一步，为了有利于获得后述的以流体的流动作用等为基础的防振效果，优选0.1Pa·s以下的低粘性流体。

在本实施方式中，在支承橡胶弹性体30与主体橡胶弹性体16之间配设有分隔金属件38。分隔金属件38具有薄壁的近似圆板形状，其外周部分隔着橡胶弹性体而与支承金属件32的上表面重叠，并且内周部分位于比外周部分更靠上方的位置、且从支承橡胶弹性体30以及输出部件34向上方离开。进一步，在分隔金属件38的内周部分，形成有多个作为在厚度方向上贯通的小径的圆形孔的过滤节流孔40。

另外，在主体橡胶弹性体16的一体硫化成形品安装有挠性膜42。挠性膜42是容易允许挠性变形的薄壁的橡胶膜，其整体呈在周向上连续的近似圆环形状，并且具有向外周凸出的纵截面形状。而且，挠性膜42的上端部(内周端部)硫化粘接于内嵌装金属件44，并且下端部(外周端部)硫化粘接于外敛缝金属件46。

内嵌装金属件44是以在外周凹陷的槽的截面形状而遍及整周地连续的环状的金属件，挠性膜42的上端部硫化粘接于该内嵌装金属件44的外周面。而且，通过使内嵌装金属件44外嵌于第一安装部件12而将挠性膜42的上端部安装于第一安装部件12。

外敛缝金属件46的整体具有大径的近似圆筒形状，在其内周面硫化粘接有挠性膜42，另一方面，在其上端部一体形成有向外周侧扩展的凸缘部48，并且其下端部形成为从台阶状的外周端向下方突出的敛缝片50。而且，通过将外敛缝金属件46的敛缝片50敛缝固定于第二安装部件14的敛缝板部24，由此将挠性膜42的下端部安装于第二安装部件14。此外，第二安装部件14的上端部隔着橡胶弹性体而在与轴成直角的方向上与外敛缝金属件46抵接，第二安装部件14的上端部与外敛缝金属件46之间被流体密封地封闭。另外，利用外敛缝金属件46的敛缝片50对固接于支承橡胶弹性体30的支承金属件32的外周部分和第二安装部件14的敛缝板部24一起进行敛缝固定，由此将支承金属件32固定于第二安装部件14。

通过以该方式将挠性膜42的上端部安装于第一安装部件12、且将挠性膜42的下端部安装于第二安装部件14，由此将挠性膜42配置于主体橡胶弹性体16的外周侧，从而在主体橡胶弹性体16与挠性膜42之间形成相对于外部以流体密封的方式隔离的副液室52。副液室52的壁部的一部分由挠性膜42构成而容易允许容积变化，并且该副液室52中封入有与主液室36中的流体相同的非压缩性流体。

另外，在第二安装部件14的轴向中间部分与外敛缝金属件46的轴向中间部分的在与轴成直角的方向上的对置面之间，形成有在周向上连续地延伸的隧道状的流路。而且，该隧道状流路通过在周向上的一部分形成的第一连通路54而与主液室36连通，并且通过在周向上的另一部分形成的第二连通路56而与副液室52连通，由此在第二安装部件14与外敛缝金属件46之间形成有将主液室36和副液室52相互连通的节流通路58。对于节流通路58，考虑主液室36以及副液室52的壁部的弹性刚性并对通路截面积(A)与通路长度(L)的比(A/L)进行调节，由此适当地设定作为流动流体的共振频率的调谐频率，在本实施方式中，调谐为与发动机抖动相当的10Hz左右。此外，通过将与主体橡胶弹性体16一体形成的未图示的间隔壁部固接于第二安装部件14的外周面，由此将隧道状流路设为在周向上不足一圈的长度，并在隧道状流路的周向两端部形成连通路54、56。

另外，在外敛缝金属件46安装有紧固连结金属件60。紧固连结金属件60的整体具有大径的近似圆筒形状，在其上端部设置有凸缘状的连结板部62，并且在其下端部设置有凸缘状的安装板部64。而且，利用外敛缝金属件46的敛缝片50对连结板部62进行敛缝固定，由此使得紧固连结金属件60与外敛缝金属件46连结，从而由上述外敛缝金属件46和紧固连结金属件60构成外托架。此外，利用敛缝片50对紧固连结金属件60的连结板部62和第二安装部件14的敛缝板部24以及支承金属件32的外周部分一起进行敛缝固定，由此将紧固连结金属件60固定于第二安装部件14以及支承金属件32。

在本实施方式的发动机支架11中，例如以如下方式制造流体封入部分。即，首先在封入流体中或者大气中对主体橡胶弹性体16的一体硫化成形品和挠性膜42的一体硫化成形品进行组装。此时，例如还能够在非压缩性流体中利用喷流将残留空气从节流通路58、副液室52去除。

接下来，向这样的组装体组装支承橡胶弹性体30的一体硫化成形品。例如，通过在封入的非压缩性流体中将支承金属件32压入于外敛缝金属件46的敛缝片50，由此利用固接于第二安装部件14、外敛缝金属件46等的密封橡胶而确保流体密封性，从而能够进行非压缩性流体的封入和临时封闭。由此，还可以将填充有非压缩性流体的组装体从液体中取出而在大气中进行防振用电磁式致动器10的组装。但是，还可以在大气中对各部件进行组装之后，通过在从设置于第一安装部件12的贯通孔将封入流体注入之后将该贯通孔封闭，由此进行非压缩性流体向主液室36以及副液室52的封入和填充。

另外，在紧固连结金属件60的内周侧配设有防振用电磁式致动器10。防振用电磁式致动器10具有可动件70相对于筒状的固定件68以能够在轴向上进行相对移位的方式插入配置的构造。

固定件68具备配置为上下二层的线圈部件72、72。线圈部件72形成为在树脂制成的线轴上卷绕金属线材而成的线圈74上组装有外磁轭76的构造，该线圈部件72的整体呈大径的近似圆筒形状。外磁轭76由铁等铁磁体形成，并具备：第一磁轭78，其与线圈74的轴向外表面重叠；以及第二磁轭80，其与线圈74的轴向内表面重叠。更具体而言，第一磁轭78以将线圈74的轴向外表面、外周面以及内周面的轴向外端部覆盖的方式进行安装，并且第二磁轭80以将线圈74的轴向内表面以及内周面的轴向内端部覆盖的方式进行安装。由此，在线圈74的周围，借助外磁轭76而形成引导通过对线圈74通电所产生的磁力线的磁路，并且，在线圈74的内周侧，第一磁轭78和第二磁轭80上下隔离而形成磁隙82。

而且，通过对线圈74、74供电而在线圈74、74的周围产生磁力线，并且利用由外磁轭76、76构成的磁路对产生的磁力线进行引导，在磁隙82的形成部分处且在外磁轭76形成磁极。此外，上侧的线圈部件72的线圈74、以及下侧的线圈部件72的线圈74由连续的线材形成，并且线材相对于线轴朝彼此相反的方向卷绕，从而通过通电而产生方向相反的磁力线。另外，上下的线圈部件72、72形成为大致对称的构造，与线圈74电连接的线圈端子金属件84以朝下方突出的方式设置于下侧的线圈部件72。

另外，固定件68容纳配置于作为壳体的外壳部件86。外壳部件86的整体形成为有底的近似杯状，一体地具备近似圆筒形状的周壁部88和近似圆板形状的底壁部90，并且在开口部一体形成有凸缘状的支承片92。而且，固定件68配置于外壳部件86的周壁部88的内周、且配置于底壁部90的上方。此外，在本实施方式中，外壳部件86的底壁部90形成为随着趋向外周而逐渐位于靠上方的位置的带台阶的板状，其外周端部形成为与固定件68抵接的圆环板状的固定件支承部94。

另外，在固定件68的中央孔插入配设有引导套筒98。引导套筒98是薄壁的具有近似圆筒形状的部件，由非磁性的不锈钢等形成，并且优选对表面实施氟树脂涂覆等低摩擦表面处理。进一步，在引导套筒98的下端部设置有大径筒状的固接部，固接于该固接部、且向外周突出的弹性支承体102在轴向上夹持于线圈部件72与外壳部件86的底壁部90之间，从而引导套筒98被弹性支承于固定件68。

另外，可动件70插入于在固定件68的中央孔配置的引导套筒98。可动件70具备在永久磁铁104的上下两侧将上磁轭106和下磁轭108重叠的构造的电枢。永久磁铁104形成为近似圆环板形状，通过在轴向上进行磁化而在上下两面分别形成有一个磁极。此外，永久磁铁104还可以采用铁氧体系磁铁、铝镍钴系磁铁等，但优选采用小型轻量且能够获得较大矫顽力的钐-钴磁铁等稀土类钴系磁铁。

上磁轭106由实施了氟树脂涂覆等低摩擦表面处理的铁等铁磁体形成，且其整体形成为近似圆环板形状。另外，上磁轭106的下表面形成为在与轴成直角的方向上扩展的平面，并且在上表面的内周部分形成有凹部状的减薄部110，外周部分形成为轴向尺寸较大的厚壁部112，并且内周部分形成为轴向尺寸比厚壁部112的轴向尺寸小的薄壁部114。此外，下磁轭108是将上磁轭106上下颠倒后的构造，因此在图中标注相同的符号并将说明省略。

而且，上磁轭106与永久磁铁104的上表面重叠，并且下磁轭108与永久磁铁104的下表面重叠，利用压入于中心孔的位置调整螺母116将上述永久磁铁104和上下磁轭106、108相互连结。由此，上下磁轭106、108被永久磁铁104的磁场磁化，因此，在上磁轭106的外周面和下磁轭108的外周面形成彼此相反的磁极。此外，位置调整螺母116以小径的近似圆筒形状而在内周面形成有螺纹牙，并且形成为外周面的轴向下部的直径比上部的直径大，大径的下部在轴向上与在下磁轭108的内周面形成的台阶抵接，由此相对于永久磁铁104以及上下磁轭106、108在轴向上对位置调整螺母116进行定位。

通过将输出部件34插入于这样的可动件70而将可动件70安装于输出部件34。即，在输出部件34的下端部设置的外螺纹部35螺合安装于位置调整螺母116，并且锁定螺栓从下方旋入于位置调整螺母116，由此相对于输出部件34而将可动件70固定于规定的轴向位置。进一步，通过后述的外壳部件86向第二安装部件14的固定而使固接于支承橡胶弹性体30的支承金属件32相对于外壳部件86固定，并利用支承橡胶弹性体30使可动件70相对于外壳部件86弹性连结。因此，利用支承橡胶弹性体30而使安装于输出部件34的可动件70相对于外壳部件86弹性地定位。

另外，在可动件70外插有筒状的固定件68，可动件70配置为相对于固定件68能够在轴向上进行相对移位。进一步，通过对设置于可动件70的位置调整螺母116的向外螺纹部35的旋入量进行适当的调节，能够调整可动件70相对于输出部件34的轴向位置，由此构成位置调整机构。由此，即使输出部件34的轴向位置出现偏差，也能够使可动件70相对于固定件68在轴向上对位于规定的位置。在本实施方式中，可动件70以如下方式相对于固定件68在轴向上被定位：使得上磁轭106的厚壁部112的轴向中央与上侧线圈部件72的磁隙82的轴向中央一致，并且使得下磁轭108的厚壁部112的轴向中央与下侧线圈部件72的磁隙82的轴向中央一致。

此处，在固定件68和外壳部件86的周壁部88的与轴成直角的方向上的对置面之间设置有间隙118。即，使构成固定件68的线圈部件72、72的外径尺寸小于外壳部件86的周壁部88的内侧尺寸，并将线圈部件72、72的外周面相对于周壁部88的内周面在内周侧隔开地对置配置，由此形成间隙118。由此，固定件68相对于外壳部件86能够在与轴成直角的方向上进行相对移位，相对于外壳部件86以及被弹性地定位的可动件70，通过相对于外壳部件86的在与轴成直角的方向上的相对移位而在与轴成直角的方向上对固定件68进行对位。

进一步，固定件68在相对于可动件70被相对地进行对位之后的状态下夹入于支承金属件32的内周部分与外壳部件86的底壁部90的固定件支承部94的轴向之间，从而以相对于外壳部件86无法进行相对移位的方式被定位固定、安装。在本实施方式中，形成为槽状的支承金属件32的内周部分的下表面由与支承橡胶弹性体30一体形成的夹持橡胶120覆盖，上侧的线圈部件72的第一磁轭78隔着夹持橡胶120而相对于支承金属件32间接地抵接，因此，能避免外磁轭76与支承金属件32的直接接触所引起的异响、损伤。

此外，例如能够通过具有以下的对位工序和固定工序的制造方法而获得防振用电磁式致动器10。即，首先，在将构成固定件68的线圈部件72、72以及引导套筒98外插于可动件70之后，将可动件70的位置调整螺母116螺合装配于输出部件34的外螺纹部35。接下来，将固定件68容纳于外壳部件86，并且使固定件68相对于外壳部件86在与轴成直角的方向上进行相对移位，由此完成在与轴成直角的方向上对固定件68和可动件70进行对位的对位工序。另外，接下来，将外壳部件86的支承片92和支承金属件32一起敛缝固定于外敛缝金属件46，在轴向上将相对于可动件70对位后的固定件68夹入于外壳部件86的底壁部90与支承金属件32之间，由此完成以相对于外壳部件86无法进行相对移位的方式固定的固定工序。经由以上工序而能够获得本实施方式所涉及的防振用电磁式致动器10。

另外，设置于固定件68的线圈端子金属件84与安装于外壳部件86的连接器122连接。连接器122安装于在外壳部件86的底壁部90的外周部分形成的连接孔、且向下方延伸，并且以在中间部分弯曲的方式朝侧方突出。进一步，在连接器122设置有连接器端子金属件124，连接器端子金属件124的一端与线圈端子金属件84接触而导通，并且连接器端子金属件124的另一端在外部露出。而且，通过从与连接器122连接的未图示的电源装置向线圈74、74供电而使线圈74、74分别形成磁场，由此将外磁轭76、76分别磁化，在可动件70的上下磁轭106、108之间产生磁力，使得可动件70相对于固定件68在轴向上上下地进行相对移位。此外，未图示的控制装置在设定的时机切换从电源装置向线圈74、74供给的电流的方向，由此对可动件70相对于固定件68的相对移位方向进行控制，换言之，对激振的频率进行控制。

进一步，线圈端子金属件84和连接器端子金属件124的接触侧端部分别在与轴成直角的方向上扩展，上述线圈端子金属件84和连接器端子金属件124的端部相互进行面接触，因此，允许上述线圈端子金属件84和连接器端子金属件124在与轴成直角的方向上的相对位置的错动。因此，即使为了相对于可动件70的相对的对位而利用间隙118使固定件68相对于外壳部件86在与轴成直角的方向上进行相对移位，也能维持线圈端子金属件84与连接器端子金属件124的连接。

另外，外壳部件86安装于外敛缝金属件46。即，外壳部件86的设置于上端开口部的支承片92插入于紧固连结金属件60的连结板部62与支承金属件32的外周部分的轴向之间。而且，利用外敛缝金属件46的敛缝片50对上述连结板部62和支承金属件32的外周部分进行敛缝固定，由此将支承片92固定于外敛缝金属件46。由此，具备支承片92的外壳部件86经由外敛缝金属件46而安装于第二安装部件14，并通过以后述方式将紧固连结金属件60安装于未图示的车辆车身而将其支承于车辆车身侧。

在本实施方式中，在外壳部件86的周壁部88与紧固连结金属件60之间也设置有间隙。通过设置该间隙，例如当将紧固连结金属件60敛缝固定于外敛缝金属件46时，即使伴随着敛缝加工时的敛缝片50的变形等而使得紧固连结金属件60与敛缝片50接触并在与轴成直角的方向上移位，也能够避免外壳部件86与紧固连结金属件60一体地移位，从而能够将外壳部件86保持为相对于可动件70被定位后的状态。特别是在利用外敛缝金属件46将外壳部件86和紧固连结金属件60相互固定之前对外壳部件86和固定件68进行定位固定的构造中，通过在外壳部件86的周壁部88与紧固连结金属件60之间设置间隙而防止外壳部件86与紧固连结金属件60一起移位，从而能够防止固定件68相对于可动件70对位之后进行相对移位。另外，与紧固连结金属件60相比，对外壳部件86要求的刚性、强度更小，因此能够使该外壳部件86实现轻量化，与连同大型且重量也较大的紧固连结金属件60而使外壳部件86相对于可动件70进行轴对位的情况相比，还能够以更高的精度且容易地进行轴对位操作。

具有如此构造的发动机支架11的第一安装部件12经由借助螺栓而固定于安装片18的未图示的内托架安装于同样未图示的动力单元，并且第二安装部件14经由紧固连结金属件60而安装于未图示的车辆车身。由此，发动机支架11夹装于动力单元与车辆车身之间，动力单元以防振的方式支承于车辆车身。此外，第一安装部件12向动力单元的紧固连结位置与紧固连结金属件60的安装板部64向车辆车身的紧固连结位置之间的相对位置关系在车辆侧被预先规定，因此，紧固连结金属件60相对于第一安装部件12被定位于规定的相对位置。

而且，当输入有与发动机抖动相当的低频大振幅振动时，在主液室36引起内压变动，基于主液室36和副液室52的相对压力差而在上述两室36、52之间产生从节流通路58通过的流体流动。由此，发挥以流体的共振作用等流动作用为基础的防振效果。

另外，例如在输入有怠速振动(十几Hz左右)、行驶轰鸣声(30Hz～200Hz左右)等的中频或高频小振幅振动时，实质上节流通路58因反共振而被堵塞。另一方面，构成主液室36的壁部的一部分的输出部件34被防振用电磁式致动器10在轴向上激振，从而使得激振力作用于主液室36。由此，输入振动被能动地发挥作用的激振力抵消而能够获得作为目的的防振效果。在本实施方式中，激振力通过过滤节流孔40而作用于主液室36，从而更有效地发挥基于激振的能动的防振效果。

在形成为这样的依照本实施方式的构造的发动机支架11中，在激振力作用于主液室36的防振用电磁式致动器10中，在构成固定件68的线圈部件72、72和外壳部件86的周壁部88的与轴成直角的方向上的对置面之间设置有间隙118。由此，允许固定件68相对于外壳部件86在与轴成直角的方向上的相对移位，能够使容纳于外壳部件86的固定件68相对于外壳部件86和被弹性地定位的可动件70而在与轴成直角的方向上进行对位。其结果，例如即使输出部件34和外壳部件86在与轴成直角的方向上的相对位置出现偏差，也能够通过相对于固定件68在同一中心轴上对与输出部件34连结的可动件70进行对位而有效地获得作为目的的输出。

而且，通过将线圈部件72、72在轴向上夹持于外壳部件86的底壁部90与支承金属件32之间，由此将相对于可动件70对位后的固定件68固定于外壳部件86而阻止与轴成直角的方向上的相对移位。故此，在固定件68相对于可动件70对位之后，固定件68相对于可动件70在与轴成直角的方向上的相对移位受到限制，固定件68和可动件70被保持为在与轴成直角的方向上相互对位的状态。因此，稳定地发挥了作为目的的输出，并且防止了固定件68相对于外壳部件86的移动，从而能够防止异响、损伤等。特别是由于固定件68在轴向上被夹持定位于外壳部件86与支承金属件32之间，因此，通过将支承金属件32和外壳部件86安装于外敛缝金属件46而能够简单地将固定件68固定于外壳部件86。

进一步，通过调节位置调整螺母116相对于输出部件34的外螺纹部35的旋入量，能够在轴向上对可动件70相对于输出部件34的安装位置进行调整，使得该可动件70相对于固定件68被对位于规定的轴向位置。故此，例如即使输出部件34和外壳部件86在轴向上的相对位置出现偏差，也能够通过使与输出部件34连结的可动件70相对于固定件68在激振移位方向上进行对位而有效地获得作为目的的输出。

通过以上方式能够对固定件68和可动件70相互进行对位，从而，在发动机支架11中，能够使得作为目的的能动的激振力有效地作用于主液室36，从而能够有效地获得将输入的振动抵消的防振作用。而且，通过避免固定件68和可动件70因轴向错动而引起的过度的接触，还实现了耐久性的提高、对卡挂的防止等。

以上虽然对本发明的实施方式进行了详细叙述，但本发明并不限定于该具体的记载。例如，在上述实施方式中，举例示出了通过在线圈部件72、72与外壳部件86之间形成间隙118而允许固定件68相对于外壳部件86在与轴成直角的方向上的相对移位的构造，但允许固定件68和壳体的相对移位的构造并不仅仅限定于实施方式中的具体构造。具体而言，例如可以通过在外壳部件86的外周面与紧固连结金属件60的内周面的与轴成直角的方向上的对置面之间形成间隙而允许外壳部件86相对于紧固连结金属件60在与轴成直角的方向上的相对移位，由此能够允许固定件68相对于紧固连结金属件60在与轴成直角的方向上的相对移位，从而能够进行固定件68相对于可动件70的对位。总之，还可以采用将紧固连结金属件60视为壳体而能够通过固定件68和紧固连结金属件60的相对移位来进行固定件68和可动件70的对位的构造。此外，还可以利用如上所述的外壳部件86与紧固连结金属件60之间的间隙、以及线圈部件72、72与外壳部件86之间的间隙118的双方而允许固定件68和壳体在与轴成直角的方向上的相对移位。

另外，将相对于可动件70对位后的固定件68相对于外壳部件86进行定位固定的固定机构并不一定限定于在支承金属件32和外壳部件86的底壁部90的轴向之间对线圈部件72、72进行夹持的构造。具体而言，例如可以利用由支承金属件32或者外壳部件86支承的其他部件在轴向上对线圈部件72、72进行夹持，还可以通过将其他部件插入于间隙118而对固定件68和外壳部件86进行定位。此外，固定机构在本发明中并非必不可少，可以以相对于外壳部件86能够进行相对移位的状态对固定件68进行安装。

另外，除了如上述实施方式所示那样应用于能动型流体封入式防振装置以外，本发明所涉及的防振用电磁式致动器10例如还优选应用于日本特开2013-60963号公报等所示的能动型减振装置。即，在将本发明所涉及的防振用电磁式致动器10应用于能动型减振装置的情况下，具备如下构造：利用支承橡胶弹性体30对安装于可动件70的输出部件34、和安装于固定件68的外壳部件86相互进行弹性连结，由此利用支承橡胶弹性体30将固定件68和可动件70间接地弹性连结。而且，通过经由外壳部件86而将固定件68安装于车辆车身等减振对象部件，从而对线圈74通电所产生的激振力经由外壳部件86而作用于减振对象部件，通过能动的激振力以抵消的方式减弱向减振对象部件输入的振动。

另外，上述实施方式中示出的固定件68和可动件70的具体构造仅为示例而已，对固定件、可动件的构造并没有特别限定，例如还可以采用日本特许第4186217号公报中记载的构造等。进一步，线圈部件可以构成可动件，并且电枢可以构成固定件。

符号说明

10：防振用电磁式致动器；11：发动机支架(能动型流体封入式防振装置)；12：第一安装部件；14：第二安装部件；16：主体橡胶弹性体；30：支承橡胶弹性体；32：支承金属件；34：输出部件(激振部件)；36：主液室(流体室)；68：固定件；70：可动件；72：线圈部件；74：线圈；86：外壳部件(壳体)；88：周壁部；90：底壁部；116：位置调整螺母(位置调整机构)；118：间隙。